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CMP拋光用陶瓷載盤

2014-12-26

7.CMP拋光用陶瓷載盤

 

我司可提各種規格的供用于化學機械拋光用的陶瓷載盤。 該載盤可以用于拋光3, 4, 5, 6英寸的晶圓。并且有著較好的平坦度的平行度,材料結合精密且有著均一的微觀結構。

特性:

熱傳導性好

平坦度高且無變形

無空洞,劃痕和裂紋

 

 直徑

平坦度

D410mm

2μm

D360mm

2μm

D305mm

2μm